Influence of the nitrogen flow rate on the order and structure of PECVD boron nitride thin films


Anutgan M. , Anutgan T. , Ozkol E., Atilgan I., Katircioglu B.

Journal of Non-Crystalline Solids, cilt.355, ss.1622-1629, 2009 (SCI Expanded İndekslerine Giren Dergi)

  • Cilt numarası: 355
  • Basım Tarihi: 2009
  • Doi Numarası: 10.1016/j.jnoncrysol.2009.05.053
  • Dergi Adı: Journal of Non-Crystalline Solids
  • Sayfa Sayısı: ss.1622-1629