Radio frequency-H2O plasma treatment on indium tin oxide films produced by electron beam and radio frequency magnetron sputtering methods


Kiristi M., Gulec A., Bozduman F. , ÖKSÜZ L., Oksuz A. U. , Hala A.

Thin Solid Films, cilt.567, ss.32-37, 2014 (SCI Expanded İndekslerine Giren Dergi) identifier

  • Cilt numarası: 567
  • Basım Tarihi: 2014
  • Doi Numarası: 10.1016/j.tsf.2014.07.035
  • Dergi Adı: Thin Solid Films
  • Sayfa Sayıları: ss.32-37