Stability and degradation of plasma deposited boron nitride thin films in ambient atmosphere


Anutgan T. , Anutgan M., Atilgan I., Katircioglu B.

Thin Solid Films, cilt.518, ss.419-425, 2009 (SCI İndekslerine Giren Dergi) identifier identifier

  • Cilt numarası: 518 Konu: 1
  • Basım Tarihi: 2009
  • Doi Numarası: 10.1016/j.tsf.2009.06.043
  • Dergi Adı: Thin Solid Films
  • Sayfa Sayıları: ss.419-425