Large area uniformity of plasma grown hydrogenated nanocrystalline silicon and its application in TFTs


Anutgan T. , Anutgan M., Atilgan I., Katircioglu B.

Journal of Non-Crystalline Solids, cilt.356, ss.1102-1108, 2010 (SCI İndekslerine Giren Dergi) identifier identifier

  • Cilt numarası: 356
  • Basım Tarihi: 2010
  • Doi Numarası: 10.1016/j.jnoncrysol.2010.04.012
  • Dergi Adı: Journal of Non-Crystalline Solids
  • Sayfa Sayıları: ss.1102-1108